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纳米涂层

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纳米涂层

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纳米涂层

电弧装置引燃电弧,低电压大电流电源将维持阴极和阳极之间弧光放电的进行,在电源的维持和磁场的推动下,电弧在靶面游动,电弧所经之处,靶材被蒸发并离化,在负偏压作用下调整离子的能量,在基体上沉积成膜。
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产品描述

业务说明

电弧装置引燃电弧,低电压大电流电源将维持阴极和阳极之间弧光放电的进行,在电源的维持和磁场的推动下,电弧在靶面游动,电弧所经之处,靶材被蒸发并离化,在负偏压作用下调整离子的能量,在基体上沉积成膜。

 

 


技术特点

● 结合力良好,工件寿命提高
● 温度处理较低,约400℃-500℃
● 成膜速度快,大面积沉淀,生产过程安全
● 薄膜体系丰富,合金膜、多层膜等,合成过程容易

 

 

 

 

 

 

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